场发射扫描电子显微镜

JEM-7001F场发射扫描电子显微镜由日本电子株式会社制造，主要用于材料表面形貌观测，能谱分析、微观取向的测定与分析等。具有分辨率高、准确度好、分析速度快等优点。在冶金、材料、地质等各个领域具有广泛的应用前景，是系统研究结构材料、功能材料的重要分析测试手段，在材料领域的诸多方向均具有广阔的应用前景和重要地位。

设备主要参数范围：分辨率：二次电子像：1.2nm（加速电压30Kv）3.0nm（加速电压1Kv）。放大倍数：×10~×500，000。束流范围：10-12~2×10-7A连续改变。样品台移动：X：70mm，Y：50mm，Z：3mm-41mm，T：-5°- +70°，R：360°。

能谱仪：分辨率：MnK_α峰半高宽优于133eV（2500cps）；CK_α峰半高宽优于66eV（2500cps）；元素测试：Be4-U92。

背散射电子衍射分析仪：高解析率：1344×1024像素；加速电压：3Kv，束流小于5000pA；空间分辨率：0.1μm。