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JSM—6510A扫描电子显微镜由日本电子株式会社制造，扫描电子显微镜利用电子和物质的相互作用，对二次电子、背散射电子的采集，可得到材料的微观形貌信息，是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法，同时可以实现样品从低倍到高倍的定位分析，在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动，还能够根据观察需要进行空间转动，以利于对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析。拍出的图像真实、清晰，并富有立体感。扫描电镜配备了能谱仪，主要用于元素的定性和定量分析，并可分析样品微区的化学成分等信息。 设备主要参数范围：二次电子分辨率：3.0nm(30KV) , 8nm(3KV)，15nm(3KV)；背散射电子分辨率：4.0nm(30KV)；加速电压：0.5～30 KV，连续可调；放大倍数：5～300000倍。能谱仪型号EX—54185JMU，具有点、线、面分析功能，分辨率优于138eV。标准样品台尺寸：最大装样直径150mm。 |